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摘要
基于高通量材料基因工程，通过倾斜靶和调控单金属靶功率制备了化学组成连续变化的镱-铜(Yb-Cu)非晶合金金属薄膜，从而快速筛选出非晶形成范围，并且成功制备出Yb Cu非晶合金薄膜，同时研究了铝对Yb Cu非晶合金形成的影响，并制备了Yb Cu Al非晶薄膜。当Yb含量在44.5%～46.5%(质量分数)时薄膜全部为非晶态。原子力扫描(AFM)结果表明Yb Cu非晶合金表面光滑无缺陷，高度绝对差仅为31.6 nm，薄膜呈现疏水性，最大疏水角为119°。Yb Cu和Yb Cu Al非晶薄膜最大方阻分别为551和1738 mΩ·□-1，合金元素Al对Yb Cu非晶薄膜性能产生了显著影响。Yb Cu(Al)非晶薄膜的成分筛选和制备加快了稀土基非晶新材料的开发。
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单位包头稀土研究院
