Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3铁电薄膜的微弧氧化成膜研究

作者：王敏; 郭会勇; 张果戈; 李文芳

来源：表面技术, 2013, (04): 35-38.

DOI：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2013.04.018

• Ba0.5Sr0.5TiO3
• 铁电薄膜
• 微弧氧化
• 介电性能 Ba0.5Sr0.5TiO3
• ferroelectric films
• microarc oxidation
• dielectric property

以0.2 mol/L Ba(OH)2+0.2 mol/L Sr(OH)2溶液为电解液,采用微弧氧化法,在Ti板表面原位生长铁电薄膜,并对薄膜的物相构成、元素分布情况、截面结构及介电性能进行表征。结果表明:该工艺下制备的薄膜主要由四方相Ba0.5Sr0.5TiO3构成,薄膜致密层内,Ba,Sr,Ti和O元素分布都较均匀,但在微弧氧化孔洞附近存在含量波动;该薄膜在1 kHz下的介电常数较优,为411.3。最后对微弧氧化沉积铁电薄膜的成膜过程进行了分析,提出了微弧氧化过程中可能存在的化学反应。

• 单位
  平高集团有限公司; 华南理工大学; 广东技术师范大学