一种AlSiC复合基板的高性能绝缘层

作者：李国强; 凌嘉辉; 杨美娟

来源：2014-10-31, 中国, CN201410604491.0.

本发明公开了一种AlSiC复合基板的高性能绝缘层,包括AlSiC复合基板、类钻碳薄膜和氮化铝薄膜,所述类钻碳薄膜沉积在AlSiC复合基板上；所述氮化铝薄膜沉积在类钻碳薄膜上。本发明的AlSiC复合基板的高性能绝缘层,具有结构简单、导热性能好、绝缘性能优异的优点。

• 单位
  华南理工大学