镁含量对堇青石陶瓷微波介电性能的影响

作者：周晓华^*; 彭昶; 董雪; 孙成礼; 张树人

来源：电子元件与材料, 2020, 39(06): 25-36.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.06.005

• MgO
• 堇青石
• 固相反应
• 微波介质陶瓷
• 品质因数
• 介电常数

采用传统固相反应法合成Mg2+xAl4Si5O18+x(0≤x≤0.4)微波介质陶瓷,研究了MgO含量对陶瓷烧结特性、微观结构和微波介电性能的影响。实验结果表明,增加MgO的含量可以有效地抑制Al6Si2O18第二相的出现,显著提升陶瓷的品质因数,同时还可以加速陶瓷的致密化,促进晶粒的长大。但是过量的MgO会导致陶瓷内部出现较大的气孔,造成品质因数和介电常数的下降。在x=0.2时获得最佳的微波介电性能:介电常数εr=5.18,品质因数Q×f=86374 GHz,谐振频率温度系数τf=-31×10-6 ℃-1。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室