电泳沉积法制备Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3厚膜及其电学性能研究

作者：符云飞; 樊慧庆; 邓永丽; 陈晋

来源：无机材料学报, 2008, (04): 687-690.

• BST厚膜
• 电泳沉积
• 调谐率
• 电滞回线 BST thick film
• EPD
• tunability
• remnant polarization

采用电泳沉积法在Pt/Ti/SiO_2/Si基底上制备了厚度为33μm的Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(BST40)厚膜,研究了其介电调谐特性、漏电流特性和铁电特性.实验结果表明:采用水热法制备纳米BST40粒子,经250MPa高压压制,950℃热处理后,BST40厚膜可形成完整的立方钙钛矿结构且表面致密、无裂纹.ε-V特性表明,1kHz时厚膜调谐率可达59.2%.I-V特性表明,当电压从-25～25V变化时,漏导电流<100μA/cm~2.测量了在1kHz,不同温度下厚膜的电滞回线.在0℃时,其剩余极化强度为1.06μC/cm~2.

• 单位
  凝固技术国家重点实验室; 西北工业大学; 材料学院