本发明导电薄膜材料领域,公开了一种高性能透明导电薄膜及其制备方法和应用。所述制备方法为：将透明基板经清洗、烘干后,在室温下通过脉冲激光沉积GZO导电薄膜,得到高性能透明导电薄膜。本发明采用了GZO作为导电薄膜材料,绿色环保；且采用单层GZO薄膜,工艺简单；并通过脉冲激光沉积制备,无需退火处理,有效降低成本。所得GZO导电薄膜具有高透过率,低粗糙度,低电阻的优点,可用于电磁器件和设备屏蔽,例如：战斗机座舱盖和海军舰艇舷窗等。
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