酞菁铜-氧化锌复合材料的制备及其气敏特性

作者：张轶群; 王冲; 邵秀峰; 刘凤敏^*; 卢革宇

来源：微纳电子技术, 2023, 60(12): 1937-1942.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2023.12.005

• 复合材料
• 传感器
• 酞菁铜
• 氧化锌
• NO2

将p型有机半导体材料酞菁铜(CuPc)和n型无机半导体材料氧化锌(ZnO)复合，得到p-n型的CuPc-ZnO复合材料，促进了目标气体在敏感层表面发生反应，提高了敏感层的气敏性能。在结晶度、形貌和结构等方面对制备的CuPc-ZnO敏感材料进行了详细表征，并对CuPc-ZnO复合材料的气敏性能进行了系统评估。结果表明无论是向CuPc中掺入少量的ZnO,还是向ZnO中掺入少量的CuPc,均可显著提高单一材料的气敏性能，这两种复合敏感材料对NO2都展现了优异的选择性和良好的响应/恢复特性。其中，基于质量分数3%的CuPc/ZnO复合材料的传感器在150℃下对体积分数1×10-5的NO2的响应高达90,与基于纯ZnO的传感器相比，灵敏度明显提升，该传感器是检测NO2的有利候选者。

• 单位
  吉林大学; 集成光电子学国家重点实验室