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摘要
本发明公开了一种二维共平面工作台六自由度实时测量系统,针对二维工作台设置测量单元；二维工作台中二维移动台以面面接触安装在固定基座上,在固定基座上以平面间的相互滑动实现XOY面的二维运动,形成二维共平面工作台；测量单元包括X向测量单元和Y向测量单元,由各自单元的CCD测量模块和位移测量模块构成；测量系统基于CCD测量模块中CCD传感器检测获得的图像实现对二维工作台的直线度运动误差和角度误差的实时测量,基于激光干涉仪对X向和Y向的运动位移进行实时测量,由此实现二维共平面工作台六自由度实时测量系统。本发明能够满足在高精度坐标测量机和机床中的应用；其共平面设计的XY二维工作台能有效减小堆叠式二维工作台运动耦合造成的机构误差。
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