磷化铟单晶中痕量金属杂质的ICP-MS测试方法研究

作者：刘立娜; 王奕

来源：化学工程与装备, 2021, (09): 18-19.

DOI：10.19566/j.cnki.cn35-1285/tq.2021.09.008

• 磷化铟
• ICP-MS
• 痕量
• 金属杂质

建立了磷化铟单晶材料中的锗、锡、铍、锌、镉、铬、铁、镁、钒、镍、铜等痕量金属杂质的ICP-MS测试方法。选择了仪器最佳的工作条件,研究了磷化铟基体对被测元素的干扰,方法的回收率为95.0%～108.0%。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十六研究所