基于喷涂和等离子体处理的柔性应变传感器

作者：李荣军; 于源; 谭晶; 王瑞雪; 焦志伟^*; 杨卫民

来源：传感器与微系统, 2021, 40(08): 76-78.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)08-0076-03

• 喷涂
• 柔性应变传感器
• 等离子体

为提高柔性传感器传感层图案的可设计性和操作可重复性,并使传感器的灵敏度得到提高,采用二维平面可控喷涂和低温等离子体处理技术,制备了以多壁碳纳米管为传感层、以Ecoflex 0050为基层的柔性可拉伸电阻应变传感器。研究了低温等离子体处理对传感器电阻值、稳定性以及灵敏度因数的影响。结果表明:采用可控喷涂的方法制备的传感层对拉伸应变具有很好的响应;在低温等离子体处理之后,传感层的初始电阻增大为原来的15倍;在应变为10%的2 500次往复拉伸过程中,采用等离子体处理制备的柔性电阻应变传感器电阻变化保持平稳,且灵敏度因数从3.9升至11.5。等离子体处理后传感器灵敏度得到提高。

• 单位
  北京化工大学; 机电工程学院