基于有限体积法的MOCVD系统反应室的设计

作者：秦琦; 周凯; 莫晓亮; 田振夫; 陈国荣

来源：真空科学与技术学报, 2012, (06): 457-462.

• GaN
• 金属有机化合物化学气相沉积系统
• 数值模拟
• 有限体积法 GaN MOCVD system
• Numerical simulation
• FVM

金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)系统是制备GaN等半导体薄膜材料和激光器、LED等光电子器件的主要手段,制备出的材料和器件的品质直接依赖于MOCVD系统。本文基于有限体积法,利用商业软件Fluent对自行设计的一种MOCVD反应室内的温度分布和流场进行数值模拟。希望通过对模拟流场品质的细致分析,对MOCVD反应室的设计和优化起到指导与参考作用。

• 单位
  复旦大学