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摘要
金属玻璃，又称非晶态合金，因具有长程无序、短程有序的独特组织结构而拥有超常的综合性能，是制造微纳器件的理想材料之一，然而，其易过热变性且禀性钝惰硬脆，是一种典型难加工的材料之一。在分析金属玻璃组织结构特点和力学性能的基础上，按等材、减材和增材3种成形方式对金属玻璃的微制造方法与技术进行了综述。介绍各自的加工与成形原理、工艺特点、技术优势、基础应用和发展现状，分析了它们的不足与发展趋势。目前，等材成形是主流的微成形加工方法，是基于非晶材料内在特性的一种成形方式。减材与增材成形加工现阶段仍处于探索之中，工程应用案例较少，有一定的发展潜力。最后展望了金属玻璃微纳制造领域的未来发展方向与研究重点。
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