高速率通信用线列探测器芯片设计

作者：徐道润; 肖入彬; 王立; 董绪丰; 任丽; 黄晓峰; 崔大健

来源：电子技术, 2022, 51(08): 15-17.

• 电子器件
• DBR结构
• 波长拓展
• 高速探测器阵列

阐述一款高速率阵列探测器芯片的设计，通过调整AlxGa1-xAs材料中Al组分的占比，实现对芯片响应介质波长的调节，完成830～870nm谱响应范围的芯片设计。针对高速率应用，采用了台面结构设计，有效缩短载流子输运时间，利用多层DBR反射结构，指定波长范围内的反射率高达95%以上，单通道最高速率超过10GHz，峰值响应度≥0.50A/W，芯片响应度满足实际应用要求。