薄膜扭矩传感器栅丝结构尺寸对性能的影响

作者：顾凯荣; 林杰俊; 廖然; 倪昔东; 齐红丽; 闫博

来源：船舶工程, 2021, 43(S1): 295-298.

DOI：10.13788/j.cnki.cbgc.2021.S1.067

• 薄膜
• 扭矩
• 传感器
• 栅丝
• 结构尺寸

对一种薄膜扭矩传感器的栅丝进行建模,从栅丝的宽度、长宽比和间距3方面对栅丝的几何尺寸进行了性能影响仿真分析。栅丝宽度、长宽比和间距影响到栅丝对基体应变的传递性能,通过建立等应变梁模型,选择合理的宽度、长宽比和间距参数,使得应变传递误差小于1%。据此分析数据设计制作了薄膜扭矩传感器,并测试了该薄膜扭矩传感器的环境适应性等性能。

• 单位
  上海船舶设备研究所; 上海交通大学