在线连续节流取样质谱检测中的气体质量歧视因素分析

作者：孙坤; 李津铭; 韩峰; 张世伟^*; 张志军; 韩进

来源：真空科学与技术学报, 2021, 41(05): 430-434.

DOI：10.13922/j.cnki.cjvst.202009027

• 质谱分析
• 质量歧视
• 气体取样
• 在线连续检测

为了提高在线质谱检测中气体成分质谱分析的准确性,本文对在线连续动态取样系统的构成展开分析,研究发现:可凝性气体在引流段的吸附效应、节流段的质量歧视效应和分子泵对不同成分气体的抽速差异给质谱成分分析带来了原始误差。根据分子气体动力学理论,本文定义了表征节流段的质量歧视系数γ,并推导了它和分子泵对两种气体抽速比SCj/SCi的关系,进而对取样系统的质量歧视效应进行修正,从根本上提高了质谱成分分析的精确性。

• 单位
  自动化学院; 东北大学