AFM纳米加工系统设计

作者：朱吉牧; 章海军; 张冬仙

来源：光学仪器, 2005, (02): 76-79.

• AFM
• 纳米结构
• 刻蚀 AFM
• nano-structure
• lithography

利用自行研制原子力显微镜开发了一套纳米加工系统,系统利用软件预先读入图形,根据图形控制探针的精确走向,实现复杂图案的矢量式扫描刻蚀,并且对陶瓷管的非线性畸变实现了软件矫正,实验表明系统可加工出精细的纳米图形,为进一步加工出更为精细复杂的纳米器件奠定了基础。