新型的AlGaN/PZT材料紫外/红外双波段探测器

作者：张燕; 王妮丽; 孙璟兰; 韩莉; 刘向阳; 李向阳; 孟祥建

来源：红外与激光工程, 2009, (02): 210-212+255.

• 探测器
• 结构模型
• 透射光谱
• 铝镓氮/钛酸铝 Detector
• Structure model
• Transmission spectrum
• AlGaN/PZT

提出了一种可以同时同位置探测紫外和红外信号的新型探测结构,分析了该结构的合理性,并对器件工艺进行了设计、分析和验证,制备出了AlGaN/PZT原型器件。该结构以AlGaN多层材料和PZT复合薄膜为基础,利用AlGaN宽禁带半导体的本征吸收和铁电薄膜的热电转化功能,实现对紫外和红外信号的电学响应。对该结构中各膜层的透射和吸收进行了测试和分析,在小于6μm的光谱测试范围内,宝石衬底的透过率约为80%,而AlGaN多层外延结构和多孔SiO2隔离层都对红外光吸收很少。结果证明:该结构可以实现不同吸收层对入射光束不同波段的吸收。以AlGaN器件工艺和溶胶-凝胶法制备PZT膜层为基础,研究了器件工艺,并最...

• 单位
  中国科学院上海技术物理研究所; 红外物理国家重点实验室; 传感技术国家重点实验室