磷掺杂类金刚石薄膜的制备与性能研究

作者：王进; Sunny C.H.Kwok; 陈俊英; 杨萍; 黄楠; P.K.Chu

来源：真空科学与技术学报, 2005, (2): 123-126.

DOI：10.3969/j.issn.1672-7126.2005.02.011

• 类金刚石
• 磷掺杂
• 血液相容性
• 等离子体浸没离子注入与沉积

应用等离子体浸没离子注入与沉积方法合成了磷掺杂的类金刚石(P doped diamond like carbon,P-doped DLC)薄膜.结构分析表明磷以微米级岛状结构分散于DLC薄膜表层,P的掺杂增加了DIE薄膜的无序性,俄歇能谱证明岛型区域是由P、C、O三种元素形成的化合物,衰减全反射傅里叶红外光谱(ATR-FTIR)的分析结果显示存在P-O-P和P-O-C的非对称伸缩振动.掺杂表面

• 单位
  西南交通大学