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摘要
在超声振动打孔时，微晶玻璃最大切深决定了孔壁表面质量。基于脆性断裂材料去除机理，建立了简单实用的超声打孔材料去除率理论关系式，得出影响表面质量的主要工艺参数为：金刚石粒径、刀具转速和进给速度。通过正交实验方法，得到了微晶玻璃超声打孔的最佳工艺参数，金刚石粒径650#、刀具转速12 000 rpm和进给速度5 mm/min。通过工艺参数优化后，微晶玻璃打孔质量得到明显提升，孔壁经过化学抛光处理后，表面粗糙度Ra达到0.055 1μm，能有效提升激光陀螺腔体的真空特性和激光陀螺的性能。
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单位华中光电技术研究所
