晶体生长设备的真空系统设计

作者：李留臣

来源：电子工业专用设备, 2004, (06): 51-53.

• 真空
• 密封
• 漏气率
• 密封结构 Vacuum
• Seal
• Leakage
• Seal structure

阐述了降低真空系统漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,提高了真空系统的密封性能。

• 单位
  西安理工大学