LTCC工艺自动切片技术

作者:姬臻杰; 王海珍; 冯哲; 吕琴红
来源:电子工艺技术, 2011, (01): 45-47.
DOI:10.14176/j.issn.1001-3474.2011.01.002

摘要

切片是LTCC工艺中的生瓷片流延后的第一道工艺,切片技术的好坏直接影响到后续工艺,其关键点在于其切刀与生瓷片定位技术。在介绍LTCC切片工艺的基础上,重点讨论了切片技术中的关键切刀部分的技术特点、材料特性、工艺过程和工艺控制,并分析了解决办法,介绍了该工艺在近期的应用和发展。

  • 单位
    中国电子科技集团公司第二研究所

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