本发明公开了一种复合阻尼XYZ解耦并联柔顺定位平台及控制方法,包括动平台,所述动平台内嵌梯度局部谐振器,所述动平台分别与三个运动支链连接,每个运动支链与压电陶瓷作动器连接,所述运动支链包括位移放大机构及两个双轴同位正交柔性铰链,所述双轴同位正交柔性铰链内嵌阻尼子结构。本发明实现了高带宽的微纳定位平台,可以应用于AFM原子力显微镜或SEM扫描电镜,作为高速扫描的载物平台使用。
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