摘要
针对SVDD方法在训练阶段计算量大、训练时间久的问题,提出了基于局部保持投影支持向量数据描述(LPP-SVDD)的故障检测方法.结合LPP处理线性降维和SVDD在异常点检测的优势,使用LPP算法对原始数据进行维数约减,对降维后的数据采用SVDD算法建立监控模型,在最大程度保留数据局部结构特性的同时达到数据维数约减的目的,从而降低SVDD的计算量,缩短建模及检测时间.通过数值例子和半导体工艺过程进行仿真研究,对比LPP、kNN、SVDD、LPP-SVDD方法,验证所提方法的性能.结果证实了LPP-SVDD不仅具有准确的检测能力,而且具有较高的检测效率.
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