硼掺杂锌锡氧化物靶材的制备、组织及性能研究

作者：刘永; 郗雨林

来源：热加工工艺, 2018, 47(18): 105-108.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2018.18.026

• BZTO
• 制备
• 显微组织
• 性能

采用纳米B2O3、ZnO和SnO2粉末原料和氧压烧结法,在12001250℃烧结制备出不同硼掺杂量的锌锡氧化物(ZTO)陶瓷靶材(BZTO)。借助SEM、XRD,研究了掺杂量、烧结温度等对BZTO靶材微观组织及性能的影响。结果表明,B2O3在BZTO中的存在状态与加热/烧结温度紧密相关。600℃加热后,B2O3主要固溶于SnO2和ZnO晶格中;1000℃和1250℃烧结后,B2O3与ZnO反应生成Zn5B4O11中间相,也会部分固溶于基体相中。在1250℃烧结时,3.0wt%B2O3掺杂的BZTO靶材晶粒细小,组织致密,相对密度也最高。

• 单位
  中国船舶重工集团公司第七二五研究所