一种非完全覆盖多镀层微圆板谐振器热弹性阻尼通用计算框架

作者：杨龙飞; 李普; 叶一舟^*; 方昱斌

来源：振动与冲击, 2023, 42(02): 235-275.

DOI：10.13465/j.cnki.jvs.2023.02.028

• 微机械谐振器
• 热弹性阻尼(TED)
• 品质因子
• 热弹性理论

热弹性阻尼(thermoelastic damping, TED)是决定微机械谐振器品质因子上限的关键参数之一。该研究首次提出了一种计算具有多个非完全覆盖镀层微圆板谐振器TED的通用理论框架。该解析模型可退化到完全覆盖双层微圆板TED模型，数值方法同样验证了当前模型的有效性。同时提出可用工程设计领域快速计算的简单模型，并分析了该简单模型的适用范围。最后研究了具有2个非完全镀层微圆板TED频率谱特性，发现了频率谱的三Debye峰现象。

• 单位
  南京理工大学; 东南大学; 重庆大学