针对装备大规模集成电路测试性验证与评估需求,突破传统方式的故障注入难、耗资耗时等限制,开展半侵入式装备激光探针故障注入技术研究及应用;首先,研究了装备传统物理故障注入技术,分析了脉冲激光瞬态故障注入方式的可行性及作用机理;然后,建立了脉冲激光瞬态故障注入的能量传输模型,提出了基于线性传输和体积传输的脉冲激光能量计算方法;最后进行了试验验证;试验表明,该方法成功实现了典型故障模式的准确复现,可精确定位芯片内薄弱部位以指导装备优化设计。
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