正偏压对微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜的影响

作者：耿春雷; 唐伟忠; 黑立富

来源：金刚石与磨料磨具工程, 2011, (02): 22-26.

• 金刚石薄膜
• 酸碱两步法
• 微型钻头
• 正偏压 diamond coatings
• caustic and acidic pretreatment
• micro-drill
• positive bias

线形同轴耦合式微波等离子体CVD法是在硬质合金微型钻头(微钻)表面沉积金刚石涂层的最佳方法之一。本文首先研究了酸碱两步预处理后微钻表面的形貌和成分,然后研究了微钻工作表面金刚石的沉积情况,最后重点研究了正偏压对微钻不同位置金刚石生长的影响。结果表明,在微钻上施加50 V正偏压时,金刚石薄膜具有最佳的形貌和较好的均匀性。

• 单位
  北京建筑材料科学研究总院有限公司; 北京科技大学