TaAgN复合膜显微结构、力学性能和摩擦性能的研究

作者：黄婷; 喻利花; 许俊华

来源：有色金属材料与工程, 2018, 39(05): 7-12.

DOI：10.13258/j.cnki.nmme.2018.05.002

• TaAgN复合膜
• 显微结构
• 力学性能
• 摩擦性能

采用非平衡反应磁控溅射法制备了TaAgN复合膜。利用X射线衍射仪、CSM纳米压痕测试仪和摩擦磨损测试了复合膜的显微结构、力学性能和摩擦性能。结果显示,TaAgN复合膜由面心立方结构的TaN相和底心斜方结构的Ta4N相组成。随着Ag靶功率的增加,硬度H、弹性模量E、弹性恢复We和H3/E2值均呈先升高后降低的趋势,最大值分别为34 GPa,394 GPa,57%和250 MPa。随着Ag靶功率的增加,TaAgN复合膜室温下的平均摩擦因数呈降低趋势。当Ag靶功率为25 W时,随着温度的升高,TaAgN复合膜的平均摩擦因数逐渐减小。

• 单位
  江苏大学京江学院; 材料学院; 江苏科技大学