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摘要
本发明公开了一种SmCo永磁薄膜的制备方法,包括以下步骤：1)选取磁体,进行有限元分析,模拟磁体的磁力线分布,计算得到磁通密度和磁场作用区域范围；2)将磁体固定在样品台上,再根据步骤1)的分析结果将基底固定在样品台上,并确保磁场垂直穿过基底,再采用SmCo合金靶进行磁控溅射镀膜,再对得到的薄膜进行热处理晶化,即得SmCo永磁薄膜。本发明在SmCo永磁薄膜沉积过程中引入外磁场使得溅射原子形成沿外磁场方向的织构,提高了SmCo永磁薄膜的垂直磁各向异性,且外磁场还可以细化晶粒,提高SmCo永磁薄膜的磁性能。
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