截止波长2.2μm的平面型延伸波长InGaAs探测器

作者：程吉凤; 李雪; 邵秀梅; 李淘; 王红真; 马英杰; 杨波; 龚海梅

来源：红外与毫米波学报, 2022, 41(05): 804-809.

DOI：10.11972/j.issn.1001-9014.2022.05.002

• 延伸波长
• InAlAs/InGaAs
• 扩散
• 暗电流密度
• 量子效率

采用闭管扩散的方法成功研制了截止波长2.2μm的平面型延伸波长InGaAs探测器芯片。在分子束外延法（MBE）生长的In0.75Al0.25As/In0.75Ga0.25As/In0.75Al0.25As外延材料上，采用砷化锌作为扩散掺杂源、SiNx作为扩散掩膜层，实现了扩散成结。分析了扩散结深和载流子侧向收集宽度、Ⅰ-Ⅴ特性、光谱响应特性和探测率，结果表明：150 K温度下，器件暗电流密度0.69 nA/cm2@-10 mV，响应截止波长和峰值波长分别为2.12μm和1.97μm，峰值响应率为1.29 A/W，峰值量子效率达82%，峰值探测率为1.01×1012cmHz1/2/W。这些结果对后续进一步优化平面型延伸波长InGaAs焦平面探测器有重要的指导意义。

• 单位
  中国科学院; 中国科学院上海技术物理研究所; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院大学