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摘要
为了在使用入耳式耳机进行日常活动时，可以通过监测耳内温度来评估健康状况，研制了一种柔性铂薄膜温度传感器。传感器的感温单元设计为蛇形结构，可以共形贴附于曲面。制备过程中，采用磁控溅射技术在已图形化的柔性基板表面沉积铂，省去光刻、显影等工艺，直接完成对铂薄膜的图形化。在25～45℃的温度范围内，传感器的电阻温度系数为0.002 8/℃,分辨率为0.1℃,能够满足体温测量对传感器性能的要求。将传感器集成至耳机耳塞上，并通过标定实验得到电阻-温度关系公式。研发了基于传感器的无线入耳式体温监测系统，结合手机应用程序(APP)进行实际体温测量。在36.3～36.7℃的温度范围内，对同一位使用者测温的平均误差为±0.058℃,表明该传感器能够准确获取耳内体温。
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