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摘要
相比于光栅、磁栅、容栅等传统的位移传感器，基于PCB（Printed Circuit Board）工艺的新型电磁感应式位移传感器因具有较大栅距，所以传感器的制造、装配等工艺易导致位移测量的短周期误差，尤其在直线位移测量中更为明显。在所导致的短周期误差类型中，1次和4次误差是PCB型电磁感应式直线位移传感器中最常见的短周期误差。因此，本文从输出信号出发针对此两种误差的产生机理开展了研究，并提出了一种不依赖外部基准的误差自我修正方法。首先，文中从理论层面分析了短周期1次和4次误差的来源，以及两种误差与传感器原始SIN和COS信号的函数关系；然后，建立了基于传感器原始SIN和COS信号特征的短周期误差函数模型，并根据本文传感器样机的实测数据计算出误差函数模型中1次和4次误差的相应参数；最终，将1次和4次误差模型用于传感器样机的误差补偿。补偿后的样机实验结果显示误差峰峰值由51.6μm减小到36.2μm，其中短周期1次误差减小了约64.5%，短周期4次误差减小了约83%。
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