主轴回转精度测试方法研究

作者：李想; 邓建; 浮燕; 马胜勇; 蔡存金; 赵旭森

来源：机械设计, 2016, 33(07): 39-45.

DOI：10.13841/j.cnki.jxsj.2016.07.009

• 超精密主轴
• 回转精度
• 3点法
• 误差分离 ultra-precision spindle
• rotation accuracy
• three-point method
• error separation

回转精度是衡量超精密主轴的关键技术指标。传统的回转精度测试方法存在不足,如单点法和2点法不能实现误差分离;多步法需要进行多次精确转位,不利于在线测量;传统3点法可实现误差分离,但存在原理误差,不能分离主轴回转误差中的一次成分等。文中提出了一种工程测试3点法,该方法采用3个传感器在被测件上严格定点采样;利用3点法圆度误差分离技术分离出被测件圆度误差,利用2点法偏心误差分离技术分离出测试系统偏心误差;从实时采样数据中剔除被测件圆度误差及偏心误差,实现主轴回转误差在线测量及状态监测。揭示了单周采样点数、传感器安装角、偏心误差、传感器误差及角位置误差等因素对3点法测试精度的影响规律,对工程测试3点法的...