电感耦合等离子体串联质谱法测定半导体级磷酸中15种痕量杂质元素

作者：王金成; 王沿方; 周浩; 李晓丽; 贾逸豪

来源：理化检验. B, 化学分册, 2022, 58(07): 787-790.

<正>半导体级磷酸是电子行业使用的一种超高纯化学试剂，广泛应用于超大规模集成电路、薄膜液晶显示器等微电子工业，主要用于硅晶片中氮化硅膜、镀金属膜和铝硅合金膜的湿法清洗和蚀刻[1-2]。在硅晶片的蚀刻过程中，磷酸中痕量杂质元素对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响。不同的杂质污染会导致半导体器件的缺陷，如碱金属与碱土金属(钠、钾、钙、镁等)污染可导致器件的击穿电压降低；过渡金属与重金属(铁、铬、镍、铜、金、锰、铅等)

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