科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
光热微执行器被广泛应用于光学MEMS和微机器人，本文利用功能染料的窄带吸波特性，制作可控制性强，位移大的波导式激发的光热U型微执行器，仿真了温度和位移变化，制作了5.8 mm/200μm（单臂长度/半径）的窄波段响应的光热微执行器。结果表明在100 mW激光的驱动下，执行器自由端能在紫光（408 nm）或红光（638 nm）实现100-160μm的位移，远大于非对应波段光束产生的20μm的位移。本方案具有位移响应大，能量利用率高，生产成本低，高集成度的优势。采用这种方案去复用光波，选择性控制指定的光热微执行器可以为相关工程研究人员参考。
- 单位
