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摘要
采用射频磁控溅射法制备FeCoTiO纳米颗粒膜,在不同温度下进行退火处理,研究退火温度对其磁性能的影响。结果表明,随着退火温度的升高,在低于200℃时薄膜受应力变化机制影响较大,体现为矫顽力Hc、各向异性场Hk、截止频率fr降低,磁导率实部μ’增大;在高于200℃时以晶粒长大机制为主,体现为Hc、Hk、fr增高,μ’减小。综合考虑FeCoTiO纳米颗粒膜磁性能在各退火温度下的表现,在制备集成磁膜微电感的过程中,确定250℃是聚酰亚胺的最佳高温胶联化温度。
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单位西南应用磁学研究所; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室
