光学相干层析技术在光学表面间距测量中的应用

作者：王志斌; 史国华; 何益; 丁志华; 张雨东

来源：光学精密工程, 2012, (07): 1469-1474.

• 相干光学
• 光学相干层析成像
• 光学表面
• 间距测量 coherence optics
• optical coherence tomography
• optical surface
• distance measurement

搭建了适于镜头中光学表面间距测量的实验装置,用于非接触高精度测量镜面间距。该装置以光纤型时域光学相干层析系统为基础,通过光学表面的层析成像精确测量其相对位置。对样品扫描装置进行了改进,利用高精度导轨移动光纤准直器来移动成像范围,实现对不同深度光学表面的层析成像。利用实验测量系统完成了对空气间隙样品及已装调好镜头的光学表面间距的测量,其中空气间隙样品的测量值为6.026mm,用游标卡尺得到的对比测量值为6.02mm;对镜头关键参数空气间隙的测量值为10.750mm,其设计值为(10.7±0.03)mm。实验系统误差为3.871μm,测量灵敏度为10.5μm。结果显示该方法具有非接触、高精度、高灵...

• 单位
  中国科学院光电技术研究所; 浙江大学; 中国科学院研究生院; 现代光学仪器国家重点实验室