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摘要
二氧化钒(M/R相)作为一种典型的热致相变材料，在诸多领域都有着广阔的应用。仅在68℃左右便可发生高温金属相-低温半导体相的完全可逆相变，且相变前后材料的光学、电学等特性均会发生明显变化。基于该特性，二氧化钒可应用于设计各种近红外和中红外调制器件，如“智能窗”、光学器件、军事防护器件等，并具有极高的实用价值。二氧化钒热致变色性能的优劣在很大程度上取决于薄膜的合成方法和制备过程中的参数调控，首先总结了关于二氧化钒相变机理的探索研究，其次重点概述了近几年二氧化钒薄膜制备方法的研究进展，包括磁控溅射法、脉冲激光沉积法、溶胶-凝胶法、分子束外延法和溶剂热/水热法等，并讨论了各种制备技术的优缺点。另外，在改善薄膜的热致变色性能方面，总结概述了掺杂和复合工艺对薄膜性能的影响。最后，对二氧化钒薄膜存在的问题及其未来的研究及应用方向进行了讨论与展望。
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