差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试

作者:李刚; 韩晓东; 李得天; 成永军; 孙雯君; 柯鑫; 冯勇建; 许马会
来源:真空与低温, 2020, 26(01): 17-20.

摘要

提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试。测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1 000 Pa,灵敏度优于10 fF/Pa,测试曲线可以实现分段线性。