科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
为实现光谱共焦位移测量的深度识别能力,在设计过程中选择具有良好线性色散效果的衍射光学元件配合低倍率的放大物镜作为核心色散元件,搭建了一套光谱共焦位移测量系统;同时提出了一种基于Savitzky-Golay滤波以及高斯拟合的光谱数据处理方法,有效进行谱峰精准定位与峰值波长精确提取,实现被测信号特征高精度提取。设计了符合校准与安装原则的标定系统结构,运用更高精度的激光干涉仪对系统进行标定和测量,对实验结果进行误差分析,给出了随机误差和系统误差的补偿。实验结果表明:在500■640 nm的波长范围内,系统测量范围为0■4 mm,测量误差在±8μm以内,测量系统具有较高的精度。
- 单位
