化学机械磨削技术研究现状与展望

作者：金龙

来源：设备管理与维修, 2023, (22): 21-22.

DOI：10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2023.11D.10

• 化学机械磨削
• 硬脆材料
• 磨削机理
• 专用磨具

从材料去除机理、磨削工艺和合成工艺等角度出发，对化学磨削技术的问题进行探讨。从固—固相化学反应和化学力学的配合作用出发，为进一步研究材料去除机理、磨具结构、磨具组合等方面的改进提供一种切实可行的途径。展望CMP技术在加工对象多样化、结构复杂、合成加工、智能化数据库等方面的应用前景。