碳化硅外延设备是囊括了高温、真空、运动、气体、电路、水冷等多学科、高危险的精密复杂设备。碳化硅外延生长需要在高温、低真空的环境下通入易燃易爆有毒工艺气体，因此设备的密封性尤为重要。介绍了利用控制系统对碳化硅外延设备自动检漏的方法，能够方便维护人员进行操作，大大缩短检漏时间。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
