柔性氧化物薄膜晶体管栅绝缘层的研究进展

作者：谭海星; 林剑荣; 黄培源; 彭憬怡; 刘思; 陈建文; 徐华; 肖鹏^*

来源：材料导报, 2023, 1-21.

• 柔性
• 薄膜晶体管
• 栅绝缘层
• 高介电常数

柔性氧化物薄膜晶体管(thin-film transistor， TFT)广泛应用于柔性有机发光二极管(OLED)显示、柔性传感、仿生突触等领域，因其具有迁移率高、电流开关比大、器件均一性好、柔韧性好和轻薄等优点而备受业界关注。其中，栅绝缘层对柔性TFT的性能至关重要，它不仅影响着器件的基本电学性能，对器件的偏压、光照稳定性也有着明显的影响。因此，栅绝缘层材料及其制备工艺是实现制备高性能柔性TFT的关键。本文综述了柔性TFT栅绝缘层的研究进展，首先介绍了几种典型的薄膜制备技术；接着，介绍了可应用于柔性TFT的栅绝缘层材料，包括无机高介电常数(高K)栅绝缘层材料，如氧化锆(ZrO2)、氧化铪(HfO2)和氧化铝(Al2O3)，有机栅绝缘层材料，如聚乙烯吡咯烷酮(PVP)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚乙烯醇(PVA)，以及双电层电解质材料，论述了几种栅绝缘层的优缺点；最后，对柔性TFT的栅绝缘层进行了总结，并对未来栅绝缘层技术进行了展望。

• 单位
  广州新视界光电科技有限公司; 佛山科学技术学院