采用自制薄膜球盘磨损试验机 ,研究用IBAD技术制备碳膜的碳膜的摩擦学性能 ,并与CrN Cu膜进行对比。结果表明 ,碳膜的摩擦系数明显低于CrN Cu膜。CrN Cu随载荷增加摩擦系数增大 ,而类石墨膜却出现随载荷增大摩擦系数减小。CrN Cu膜的磨屑增大摩擦系数 ,碳膜的磨屑在一定程度上减小摩擦系数。
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