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摘要
从实际应用出发,在0°入射的条件下,在ZnS基底上针对0.81.7μm和3.74.8μm两个红外波段,设计并制备了双波段红外增透膜。论述了材料选择、膜系设计和制备方法,最终使用等离子辅助沉积技术在ZnS窗口上制备出双波段红外增透膜,透过率及环境测试结果表明:在0.81.7μm波段双面平均透过率大于95%,在3.74.8μm波段双面平均透过率大于96%。膜层结合牢固并有良好的耐摩擦性能。
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从实际应用出发,在0°入射的条件下,在ZnS基底上针对0.81.7μm和3.74.8μm两个红外波段,设计并制备了双波段红外增透膜。论述了材料选择、膜系设计和制备方法,最终使用等离子辅助沉积技术在ZnS窗口上制备出双波段红外增透膜,透过率及环境测试结果表明:在0.81.7μm波段双面平均透过率大于95%,在3.74.8μm波段双面平均透过率大于96%。膜层结合牢固并有良好的耐摩擦性能。
