<正>一、测量仪器原理及其计量特性1.测量原理PSD(Position Sensitive Device,位置敏感器件)基于非均匀半导体的横向光电效应的工作原理(见图1),是一种能测量光点在探测器表面上连续位置的光学探测器。PSD由形成在高电阻率半导体衬底的一个或两个表面上的均匀电阻层和形成在电阻层两端用于提取位置信号的一对电极组成。有
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