为了探究超高纯铝的大塑性变形及其再结晶行为规律，采用两步法和三步法进行轧制实验，对比两种方式下超高纯铝组织变形行为，分别观察260、280、300、320℃热处理再结晶行为，确定超高纯铝靶材坯料最佳的热处理制度。实验结果表明，三步轧制工艺使高纯铝的组织更均匀；超高纯铝对热处理温度非常敏感，当热处理工艺制度为280℃×2 h时，可获得平均晶粒在100μm以下的超高纯铝靶材坯料；其再结晶形核过程受亚晶合并形核机制和晶界弓出机制共同控制。
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