110 GHz可溯源的On-wafer GaAs基Multi-TRL校准标准件研制

作者：袁思昊; 刘欣萌; 黄辉

来源：计量学报, 2019, 40(05): 760-764.

• 计量学
• 共面波导
• W波段
• On-wafer
• 砷化镓
• Multi-TRL校准件
• 散射参数

设计制作了用于1～110 GHz On-wafer散射参数测试系统自校准的Ga As基Multi-TRL校准标准件。主要验证了Multi-TRL校准标准件设计的正确性;经过与国外计量标准及商用校准件比对,还验证了在频率范围1 GHz～110 GHz,用于Multi-TRL校准的校准标准件的准确性。

• 单位
  中国计量科学研究院