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摘要
本发明公开了一种铜锑硒太阳能电池光吸收层薄膜的制备方法,采用先溅射金属预制层后硒化的方法。磁控溅射提高了成膜均匀性,同时控制溅射功率和沉积时间易于调节金属预制层的厚度和成分,使其成分富锑；之后进行了金属预制层的合金化和硒化,先将金属预制层在真空管式炉内退火,使其形成合金,之后再在双温区管式炉内进行硒蒸气热处理,对金属预制层进行硒化,最终生成结晶性良好的铜锑硒薄膜。本发明的制备方法不仅解决了化学计量比的铜锑硒薄膜难以制备的问题,也提高了薄膜均匀性和结晶性,为制备铜锑硒薄膜太阳能电池打下了基础。
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