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摘要
MEMS陀螺仪是惯性制导系统中的关键仪表，其测量性能直接决定制导的精准度。但是，惯性制导系统旋转速度极高，其运动姿态难以准确实时测量。针对这一问题，研制了一种适用于高旋系统的载体驱动微机械陀螺仪。以提高机械灵敏度为目标，对载体驱动微机械陀螺仪进行了结构优化，使用MATLAB对敏感元件的结构参数进行了优化，利用COMSOL软件建立了仿真模型，对优化后的结构进行了模态分析、静力学分析、谐响应分析和重力分析，验证了优化方案的合理性。经结构优化后，陀螺仪的固有频率为201.3 Hz，机械灵敏度为13.3 nm/(°/s)，较优化前提高了57.2%。
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